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タイトル: | Correlation between the electrical properties and the interfacial microstructures of TiAl-based ohmic contacts to p-type 4H-SiC |
著者: | Tsukimoto, S Nitta, K Sakai, T Moriyama, M Murakami, M |
キーワード: | TiAl-based p-type 4H-SiC ohmic contact microstructure Ti3SiC2 |
発行日: | 2004 |
出版者: | MINERALS METALS MATERIALS SOC |
誌名: | JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS |
巻: | 33 |
号: | 5 |
開始ページ: | 460 |
終了ページ: | 466 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/7989 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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