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タイトル: Correlation between the electrical properties and the interfacial microstructures of TiAl-based ohmic contacts to p-type 4H-SiC
著者: Tsukimoto, S
Nitta, K
Sakai, T
Moriyama, M
Murakami, M
キーワード: TiAl-based
p-type 4H-SiC
ohmic contact
microstructure
Ti3SiC2
発行日: 2004
出版者: MINERALS METALS MATERIALS SOC
誌名: JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
巻: 33
号: 5
開始ページ: 460
終了ページ: 466
URI: http://hdl.handle.net/2433/7989
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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