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| タイトル: | Simultaneous formation of p- and n-type ohmic contacts to 4H-SiC using the ternary Ni/Ti/Al system |
| 著者: | Tsukimoto, S Sakai, T Onishi, T Ito, K Murakami, M |
| キーワード: | 4H-SiC Ni/Ti/Al ohmic contact simultaneous formation |
| 発行日: | 2005 |
| 出版者: | MINERALS METALS MATERIALS SOC |
| 誌名: | JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS |
| 巻: | 34 |
| 号: | 10 |
| 開始ページ: | 1310 |
| 終了ページ: | 1312 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7991 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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