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タイトル: Errors in near-surface and interfacial profiling of boron and arsenic
著者: Vandervorst, W
Janssens, T
Brijs, B
Conard, T
Huyghebaert, C
Fruhauf, J
Bergmaier, A
Dollinger, G
Buyuklimanli, T
VandenBerg, JA
Kimura, K  KAKEN_id
発行日: 2004
出版者: ELSEVIER SCIENCE BV
誌名: APPLIED SURFACE SCIENCE
巻: 231-2
開始ページ: 618
終了ページ: 631
URI: http://hdl.handle.net/2433/8131
DOI(出版社版): 10.1016/j.apsusc.2004.03.125
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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