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タイトル: Isopolytypic Growth of Nonpolar 4H-AlN on 4H-SiC and Its Device Applications
その他のタイトル: 4H-SiC無極性面基板上への同一ポリタイプを有する4H-AlN成長とデバイス応用
著者: Horita, Masahiro
著者名の別形: 堀田, 昌宏
キーワード: 窒化アルミニウム(AlN)
シリコンカーバイド(SiC)
アイソポリタイプ
結晶成長
分子線エピタキシー
発行日: 23-Mar-2009
出版者: 京都大学 (Kyoto University)
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・課程博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 甲第14632号
学位記番号: 工博第3100号
学位授与年月日: 2009-03-23
請求記号: 新制||工||1461(附属図書館)
整理番号: 26984
研究科・専攻: 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
論文調査委員: (主査)教授 木本 恒暢, 教授 野田 進, 教授 川上 養一
学位授与の要件: 学位規則第4条第1項該当
DOI: 10.14989/doctor.k14632
URI: http://hdl.handle.net/2433/81830
出現コレクション:090 博士(工学)

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