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タイトル: ナノ高次構造制御による高機能マイクロマテリアルとμTASシステムの創生
著者: 小寺, 秀俊  KAKEN_name
著者名の別形: Kotera, Hidetoshi
キーワード: MEMS
機械的特性
マイクロTAS
樹脂
マイクロポンプ
材料分散
Genetic algorithm
遺伝的アルゴリズム
Micro-pump
Thin film material properties
micro-TAS
材料拡散
tensile test
Micro-mixer
Mechanical properties
薄膜の変形
引張り試験
厚さ分布
多層膜
Material distribution
発行日: 4-Mar-2003
出版者: 京都大学
記述: 平成12-14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 課題番号:12450102 研究代表者:小寺 秀俊 (京都大学大学院工学研究科 教授)
URI: http://hdl.handle.net/2433/84835
関連リンク: http://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-12450102/
出現コレクション:090 工学研究科・工学部

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