1. Kyoto University Research Information Repository
  2. 003　科研費報告書
  3. 090　工学研究科・工学部
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dc.contributor.author松尾, 二郎ja
dc.contributor.alternativeMatsuo, Jiroen
dc.date.accessioned2009-08-26T04:26:42Z-
dc.date.available2009-08-26T04:26:42Z-
dc.date.issued2002-03-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/84926-
dc.description平成12-13度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書　課題番号：12650697 研究代表者：松尾二郎 (京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設)ja
dc.language.isojpn-
dc.publisher京都大学ja
dc.subject多体衝突ja
dc.subject薄膜ja
dc.subject酸化ja
dc.subjectシミュレーションja
dc.subjectイオンja
dc.subject酸化物ja
dc.subjectクラスターja
dc.subject機能性薄膜ja
dc.subjectoxidationen
dc.subjectoxideen
dc.subject酸化物薄膜ja
dc.subject多体衝突効果ja
dc.subject薄膜形成ja
dc.subjectclusteren
dc.subjectmany-body collisionen
dc.subject酸素クラスターja
dc.subject高密度照射効果ja
dc.subjectsimulationen
dc.subject酸化膜ja
dc.subjectthin filmen
dc.subjectionen
dc.title高機能酸化物薄膜形成方法の研究ja
dc.typeresearch report-
dc.type.niitypeResearch Paper-
dc.textversionpublisher-
dc.relation.urlhttp://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-12650697/-
dcterms.accessRightsopen access-
datacite.awardNumber12650697-
jpcoar.funderName日本学術振興会ja
jpcoar.funderName.alternativeJapan Society for the Promotion of Science (JSPS)en
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