このアイテムのアクセス数: 0
このアイテムのファイル:
このアイテムに関連するファイルはありません。
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Yukimura, K | en |
| dc.contributor.author | Sano, M | en |
| dc.contributor.author | Teramoto, T | en |
| dc.contributor.author | Maruyama, T | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:16:20Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:16:20Z | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.issn | 0257-8972 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/8630 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE SA | en |
| dc.subject | PB | en |
| dc.subject | TiN | en |
| dc.subject | ion implantation | en |
| dc.subject | deposition | en |
| dc.subject | sphere | en |
| dc.subject | trench | en |
| dc.title | The effect of plasma density on the deposition and ion implantation to the materials with three-dimensional topologies in metal d.c. plasma-based ion implantation | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY | en |
| dc.identifier.volume | 131 | - |
| dc.identifier.issue | 1-3 | - |
| dc.identifier.spage | 98 | - |
| dc.identifier.epage | 101 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/S0257-8972(00)00787-8 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。