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タイトル: SiC epitaxy on non-standard surfaces
著者: Matsunami, H
Kimoto, T
キーワード: (03(3)over-bar8)
(11(2)over-bar0)
chemical vapor deposition
epitaxial growth
micropipe
MOS
発行日: 2002
出版者: TRANS TECH PUBLICATIONS LTD
誌名: SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS - 2002
巻: 433-4
開始ページ: 125
終了ページ: 130
URI: http://hdl.handle.net/2433/8811
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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