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タイトル: | SiC epitaxy on non-standard surfaces |
著者: | Matsunami, H Kimoto, T |
キーワード: | (03(3)over-bar8) (11(2)over-bar0) chemical vapor deposition epitaxial growth micropipe MOS |
発行日: | 2002 |
出版者: | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD |
誌名: | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS - 2002 |
巻: | 433-4 |
開始ページ: | 125 |
終了ページ: | 130 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/8811 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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