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| タイトル: | SiC lateral super-junction diodes fabricated by epitaxial growth |
| 著者: | Miura, M Nakamura, S Suda, J Kimoto, T Matsunami, H |
| キーワード: | chemical vapor deposition CVD epitaxial growth super junction SJ |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD |
| 誌名: | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS - 2002 |
| 巻: | 433-4 |
| 開始ページ: | 859 |
| 終了ページ: | 862 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8813 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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