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dc.contributor.authorAoki, Takaakien
dc.contributor.authorMatsuo, Jiroen
dc.date.accessioned2006-06-05T02:18:14Z-
dc.date.available2006-06-05T02:18:14Z-
dc.date.issued2005-12-
dc.identifier.citationNUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.241 No.1-4 page.594-598-
dc.identifier.issn0168-583X-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/8931-
dc.descriptionThe Application of Accelerators in Research and Industry — Proceedings of the Eighteenth International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI 2004)en
dc.format.extent240657 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoeng-
dc.publisherELSEVIER SCIENCE BVen
dc.rightsこの論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。ja
dc.rightsThis is not the published version. Please cite only the published version.en
dc.subjectGas cluster ion beamen
dc.subjectMolecular dynamicsen
dc.subjectSputteringen
dc.subjectFluorineen
dc.subjectSiliconen
dc.titleMolecular dynamics study of the angular dependence of reactive cluster impactsen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleNuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atomsen
dc.identifier.volume241-
dc.identifier.issue1-4-
dc.identifier.spage594-
dc.identifier.epage598-
dc.relation.doi10.1016/j.nimb.2005.07.108-
dc.textversionauthor-
dc.relation.urlhttp://dx.doi.org/doi:10.1016/j.nimb.2005.07.108-
dcterms.accessRightsopen access-
dc.description.degreeObjectTypeArticle-
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