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dc.contributor.authorAoki, Takaakien
dc.contributor.authorMatsuo, Jiroen
dc.contributor.authorTakaoka, Gikanen
dc.contributor.authorToyoda, Noriakien
dc.contributor.authorYamada, Isaoen
dc.date.accessioned2006-06-05T05:24:43Z-
dc.date.available2006-06-05T05:24:43Z-
dc.date.issued2003-05-
dc.identifier.citationNUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.206 page.855-860-
dc.identifier.issn0168-583X-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/8943-
dc.description13th International Conference on Ion Beam Modification of Materialsen
dc.format.extent286519 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoeng-
dc.publisherELSEVIER SCIENCE BVen
dc.rightsこの論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。ja
dc.rightsThis is not the published version. Please cite only the published version.en
dc.titleDefect characteristics by boron cluster ion implantationen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleNuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atomsen
dc.identifier.volume206-
dc.identifier.spage855-
dc.identifier.epage860-
dc.relation.doi10.1016/S0168-583X(03)00878-4-
dc.textversionauthor-
dc.relation.urlhttp://dx.doi.org/doi:10.1016/S0168-583X(03)00878-4-
dcterms.accessRightsopen access-
dc.description.degreeObjectTypeArticle-
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