Molecular dynamics and Monte-Carlo simulation of sputtering and mixing by ion irradiation

Aoki, T; Chiba, S; Matsuo, J; Yamada, I; Biersack, JP

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http://hdl.handle.net/2433/8947

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DCフィールド	値	言語
dc.contributor.author	Aoki, T	en
dc.contributor.author	Chiba, S	en
dc.contributor.author	Matsuo, J	en
dc.contributor.author	Yamada, I	en
dc.contributor.author	Biersack, JP	en
dc.date.accessioned	2006-06-05T05:24:45Z	-
dc.date.available	2006-06-05T05:24:45Z	-
dc.date.issued	2001-06	-
dc.identifier.citation	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.180 page.312-316	-
dc.identifier.issn	0168-583X	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2433/8947	-
dc.format.extent	655070 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	eng	-
dc.publisher	ELSEVIER SCIENCE BV	en
dc.rights	この論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。	ja
dc.rights	This is not the published version. Please cite only the published version.	en
dc.subject	Molecular dynamics simulation	en
dc.subject	Monte-Carlo simulation	en
dc.subject	SIMS resolution	en
dc.subject	Ion mixing	en
dc.subject	Sputtering	en
dc.title	Molecular dynamics and Monte-Carlo simulation of sputtering and mixing by ion irradiation	en
dc.type	journal article	-
dc.type.niitype	Journal Article	-
dc.identifier.jtitle	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms	en
dc.identifier.volume	180	-
dc.identifier.issue	1-4	-
dc.identifier.spage	312	-
dc.identifier.epage	316	-
dc.relation.doi	10.1016/S0168-583X(01)00437-2	-
dc.textversion	author	-
dc.relation.url	http://dx.doi.org/doi:10.1016/S0168-583X(01)00437-2	-
dcterms.accessRights	open access	-
dc.description.degreeObjectType	Article	-
出現コレクション:	学術雑誌掲載論文等

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