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タイトル: 1. イオンビームスパッタリングによる金属薄膜の作製(学習院大学大学院自然科学研究科,修士論文アブストラクト(1981年度))
著者: 新井, 均  KAKEN_name
著者名の別形: Arai, Hitoshi
発行日: 20-Apr-1982
出版者: 物性研究刊行会
誌名: 物性研究
巻: 38
号: 1
開始ページ: 14
終了ページ: 15
記述: この論文は国立情報学研究所の電子図書館事業により電子化されました。
URI: http://hdl.handle.net/2433/90569
出現コレクション:Vol.38 No.1

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