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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Quantum chemical study on decomposition and polymer deposition in perfluorocarbon plasmas: Molecular orbital calculations of excited states of perfluorocarbons Nakamura, T; Motomura, H; Tachibana, K (2001) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 40(2A): 847-854 |