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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Effects of O-2 gas on reaction mechanisms in the chemical vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 thin film Yamamuka, M; Momose, S; Nakamura, T; Tachibana, K; Takada, H (2002) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 41(4A): 2231-2240 |