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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Radical kinetics for polymer film deposition in fluorocarbon (C4F8, C3F6 and C5F8) plasmas Takahashi, K; Itoh, A; Nakamura, T; Tachibana, K (2000) THIN SOLID FILMS, 374(2): 303-310 |