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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Plasma copolymerization of C6F6/C5F8 for application of low-dielectric-constant fluorinated amorphous carbon films and its gas-phase diagnostics using in situ Fourier transform infrared spectroscopy Shirafuji, T; Tsuchino, A; Nakamura, T; Tachibana, K (2004) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 43(5A): 2697-2703 |