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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| PIC-MCC Simulations of Capacitive RF Discharges for Plasma Etching Takao, Yoshinori; Matsuoka, Kenji; Eriguchi, Koji; Ono, Kouichi (2011-05-20) , 1333: 1051-1056 |  |
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発行日
- 1 2011