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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Takeuchi, Mitsuaki | en |
| dc.contributor.author | Gotoh, Yasuhito | en |
| dc.contributor.author | Tsuji, Hiroshi | en |
| dc.contributor.author | Ishikawa, Junzo | en |
| dc.contributor.author | Sakai, Shigeki | en |
| dc.date.accessioned | 2011-09-13T00:29:58Z | - |
| dc.date.available | 2011-09-13T00:29:58Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.issn | 1071-1023 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/146952 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | A V S AMER INST PHYSICS | en |
| dc.subject | charge compensation | en |
| dc.subject | current density | en |
| dc.subject | electron sources | en |
| dc.subject | field emitter arrays | en |
| dc.subject | ion beams | en |
| dc.subject | silicon | en |
| dc.subject | space charge | en |
| dc.title | Metal-free and gasless space charge compensation of low energy ion beam by using surface-carbonized silicon field emitter array | en |
| dc.type | conference paper | - |
| dc.type.niitype | Conference Paper | - |
| dc.identifier.jtitle | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | en |
| dc.identifier.volume | 28 | - |
| dc.identifier.issue | 2 | - |
| dc.identifier.spage | C2D5 | - |
| dc.identifier.epage | C2D10 | - |
| dc.relation.doi | 10.1116/1.3271159 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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