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| タイトル: | Metal-free and gasless space charge compensation of low energy ion beam by using surface-carbonized silicon field emitter array |
| 著者: | Takeuchi, Mitsuaki Gotoh, Yasuhito   Tsuji, Hiroshi Ishikawa, Junzo Sakai, Shigeki |
| キーワード: | charge compensation current density electron sources field emitter arrays ion beams silicon space charge |
| 発行日: | 2010 |
| 出版者: | A V S AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
| 巻: | 28 |
| 号: | 2 |
| 開始ページ: | C2D5 |
| 終了ページ: | C2D10 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/146952 |
| DOI(出版社版): | 10.1116/1.3271159 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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