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| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ykogr02974.pdf | Abstract_要旨 | 227.39 kB | Adobe PDF | View/Open |
| D_Fujino_Takeshi.pdf | Dissertation_全文 | 44.24 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Title: | 電子ビーム描画技術を用いた大規模半導体集積回路リソグラフィーに関する研究 |
| Authors: | 藤野, 毅  |
| Author's alias: | Fujino, Takeshi |
| Issue Date: | 23-Mar-1995 |
| Publisher: | 京都大学 |
| Description: | 本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである |
| Conferring University: | 京都大学 |
| Degree Level: | 新制・論文博士 |
| Degree Discipline: | 博士(工学) |
| Degree Report no.: | 乙第8865号 |
| Degree no.: | 論工博第2974号 |
| Conferral date: | 1995-03-23 |
| Degree Call no.: | 新制||工||996(附属図書館) |
| Examination Committee members: | (主査)教授 石川 順三, 教授 佐々木 昭夫, 教授 田丸 啓吉 |
| Provisions of the Ruling of Degree: | 学位規則第4条第2項該当 |
| DOI: | 10.11501/3099752 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/154664 |
| Appears in Collections: | 090 Doctoral Dissertation (Philosophy (Engineering)) |
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