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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| yenek00405.pdf | Abstract_要旨 | 246.77 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| genek00405.pdf | Digest_要約 | 61.44 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| denek00405.pdf | Dissertation_全文 | 6.72 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 平藤, 哲司 | - |
| dc.contributor.advisor | 馬渕, 守 | - |
| dc.contributor.advisor | 土井, 俊哉 | - |
| dc.contributor.author | DINH, VAN QUY | en |
| dc.contributor.alternative | ディン, ヴァン クイ | ja |
| dc.date.accessioned | 2020-07-31T06:08:30Z | - |
| dc.date.available | 2020-07-31T06:08:30Z | - |
| dc.date.issued | 2020-05-25 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/253518 | - |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | Kyoto University | en |
| dc.publisher.alternative | 京都大学 | ja |
| dc.rights | 学位規則第9条第2項により要約公開 | ja |
| dc.rights | 許諾条件により本文は2021-05-01に公開 | ja |
| dc.subject | Through silicon via | en |
| dc.subject | Copper electrodeposition | en |
| dc.subject | Thermal expansion coefficient | en |
| dc.subject | Thermal stress | en |
| dc.subject | Bottom-up filling | en |
| dc.subject.ndc | 501 | - |
| dc.title | LOW THERMAL EXPANSION OF ELECTRODEPOSITED COPPER IN THROUGH SILICON VIAS | en |
| dc.title.alternative | シリコン貫通電極での銅めっきと低熱膨張特性) | ja |
| dc.type | doctoral thesis | - |
| dc.type.niitype | Thesis or Dissertation | - |
| dc.textversion | ETD | - |
| dc.description.degreegrantor | 京都大学 | ja |
| dc.description.degreeuniversitycode | 0048 | - |
| dc.description.degreelevel | 新制・課程博士 | - |
| dc.description.degreediscipline | 博士(エネルギー科学) | ja |
| dc.description.degreereportnumber | 甲第22673号 | - |
| dc.description.degreenumber | エネ博第405号 | - |
| dc.description.degreekucallnumber | 新制||エネ||77(附属図書館) | - |
| dc.date.granted | 2020-05-25 | - |
| dc.description.degreeaffiliation | 京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー応用科学専攻 | - |
| dc.description.degreeexamcommittee | (主査)教授 平藤 哲司, 教授 馬渕 守, 教授 土井 俊哉 | - |
| dc.description.degreeprovision | 学位規則第4条第1項該当 | - |
| dc.identifier.grantid | 14301甲第22673号 | - |
| dc.identifier.selfDOI | 10.14989/doctor.k22673 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| datacite.date.available | 2021-05-01 | - |
| dc.description.degreediscipline-en | Doctor of Energy Science | en |
| dc.identifier.degreegrantorID | 14301 | - |
| dc.description.degreegrantor-en | Kyoto University | en |
| dc.description.degreeObjectType | DFAM | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Name | 平藤, 哲司 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 馬渕, 守 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 土井, 俊哉 | ja |
| 出現コレクション: | 120 博士(エネルギー科学) | |
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