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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| djohk00796.pdf | Dissertation_全文 | 2.83 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| yjohk00796.pdf | Abstract_要旨 | 187.17 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Gray-box modeling and model-based control of Czochralski process producing 300 mm diameter Silicon ingots |
| その他のタイトル: | 直径300mmのシリコンインゴットを製造するチョクラルスキープロセスのグレーボックスモデリング及びグレーボックスモデルに基づく予測制御 |
| 著者: | Kato, Shota |
| 著者名の別形: | 加藤, 祥太 |
| キーワード: | Czochralski process Gray-box model Model predictive control (MPC) Successive linearization Moving horizon estimation Semiconducting silicon |
| 発行日: | 23-Mar-2022 |
| 出版者: | Kyoto University |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 博士(情報学) |
| 報告番号: | 甲第24040号 |
| 学位記番号: | 情博第796号 |
| 学位授与年月日: | 2022-03-23 |
| 請求記号: | 新制||情||135(附属図書館) |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院情報学研究科システム科学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 加納 学, 教授 大塚 敏之, 教授 下平 英寿 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第1項該当 |
| 著作権等: | 許諾条件により本文は2023-01-16に公開 |
| DOI: | 10.14989/doctor.k24040 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/275362 |
| 出現コレクション: | 140 博士(情報学) |
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