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dc.contributor.author松尾, 二郎ja
dc.contributor.author瀬木, 利夫ja
dc.contributor.author青木, 学聡ja
dc.contributor.alternativeMATSUO, Jiroen
dc.contributor.alternativeSEKI, Toshioen
dc.contributor.alternativeAOKI, Takaakien
dc.date.accessioned2022-12-14T06:55:21Z-
dc.date.available2022-12-14T06:55:21Z-
dc.date.issued2021-10-10-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/277812-
dc.description特集「マイクロビームアナリシス技術部会特集号」ja
dc.description.abstractOverview of SIMS technique is reported in conjunction with novel primary ion beams and advanced mass spectrometers. Many applications of SIMS, from organic semiconductors to cells and tissues, have been demonstrated over the past 10 years. One of the biggest problems was the “static limit” in the analysis of organic molecules, which are very fragile in ion bombardment. However, this problem was overcome after the development of large cluster ion beams. This opens up new possibilities for SIMS to analyze organic materials. Future prospects of MS/MS technique and “Ambient SIMS” with MeV ion beam are discussed.en
dc.language.isojpn-
dc.publisher日本表面真空学会ja
dc.publisher.alternativeSurface Science Society Japanen
dc.rightsこの記事はクリエイティブ・コモンズ [表示 - 非営利 4.0 国際]ライセンスの下に提供されています。ja
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/deed.ja-
dc.subjectSIMSen
dc.subjectcluster ion beamsen
dc.subjectorganic moleculesen
dc.subjectmass spectrometeren
dc.subjectswift heavy ionsen
dc.title飛躍的な発展を遂げる二次イオン質量分析(SIMS)法の展望有機・生体高分子分野への新展開ja
dc.title.alternativeInnovative Technologies in Advanced SIMS : Toward Organic and Biological Material Analysisen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitle表面と真空ja
dc.identifier.volume64-
dc.identifier.issue10-
dc.identifier.spage458-
dc.identifier.epage465-
dc.relation.doi10.1380/vss.64.458-
dc.textversionpublisher-
dcterms.accessRightsopen access-
dc.identifier.pissn2433-5835-
dc.identifier.eissn2433-5843-
dc.identifier.jtitle-alternativeVacuum and Surface Scienceen
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