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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kawaguchi, S | en |
| dc.contributor.author | Tanemura, M | en |
| dc.contributor.author | Kudo, M | en |
| dc.contributor.author | Handa, N | en |
| dc.contributor.author | Kinoshita, N | en |
| dc.contributor.author | Miao, L | en |
| dc.contributor.author | Tanemura, S | en |
| dc.contributor.author | Gotoh, Y | en |
| dc.contributor.author | Liao, MY | en |
| dc.contributor.author | Shinkai, S | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T05:44:36Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T05:44:36Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.issn | 0042-207X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/35354 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD | en |
| dc.subject | sputtering | en |
| dc.subject | secondary ion mass spectrometer | en |
| dc.subject | angular distribution | en |
| dc.subject | cluster | en |
| dc.subject | hafnium | en |
| dc.subject | nitride | en |
| dc.title | Development of a compact angle-resolved secondary ion mass spectrometer for Ar+ sputtering | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | VACUUM | en |
| dc.identifier.volume | 80 | - |
| dc.identifier.issue | 7 | - |
| dc.identifier.spage | 768 | - |
| dc.identifier.epage | 770 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.vacuum.2005.11.016 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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