Development of a compact angle-resolved secondary ion mass spectrometer for Ar+ sputtering

このアイテムのアクセス数: 0

http://hdl.handle.net/2433/35354

このアイテムのファイル:

このアイテムに関連するファイルはありません。

タイトル:	Development of a compact angle-resolved secondary ion mass spectrometer for Ar+ sputtering
著者:	Kawaguchi, S Tanemura, M Kudo, M Handa, N Kinoshita, N Miao, L Tanemura, S Gotoh, Y Liao, MY Shinkai, S
キーワード:	sputtering secondary ion mass spectrometer angular distribution cluster hafnium nitride
発行日:	2006
出版者:	PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD
誌名:	VACUUM
巻:	80
号:	7
開始ページ:	768
終了ページ:	770
URI:	http://hdl.handle.net/2433/35354
DOI(出版社版):	10.1016/j.vacuum.2005.11.016
リンク:	Web of Science
出現コレクション:	英文論文データベース

このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。