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dc.contributor.authorKimoto, Ten
dc.contributor.authorKosugi, Hen
dc.contributor.authorSuda, Jen
dc.contributor.authorKanzaki, Yen
dc.contributor.authorMatsunami, Hen
dc.date.accessioned2007-06-14T06:22:36Z-
dc.date.available2007-06-14T06:22:36Z-
dc.date.issued2005-01-
dc.identifier.issn0018-9383-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/39986-
dc.format.extent416647 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoeng-
dc.publisherIEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INCen
dc.rights(c)2005 IEEE. Personal use of this material is permitted. However, permission to reprint/republish this material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution to servers or lists, or to reuse any copyrighted component of this work in other works must be obtained from the IEEE.en
dc.titleDesign and Fabrication of RESURF MOSFETs on 4H-SiC(0001), (1120), and 6H-SiC(0001)en
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleIEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICESen
dc.identifier.volume52-
dc.identifier.issue1-
dc.identifier.spage112-
dc.identifier.epage117-
dc.relation.doi10.1109/TED.2004.841358-
dc.textversionpublisher-
dcterms.accessRightsopen access-
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