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タイトル: Indium nitride thin films prepared by radio-frequency reactive sputtering
著者: MARUYAMA, T
MORISHITA, T
発行日: 15-Nov-1994
出版者: AMER INST PHYSICS
誌名: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
巻: 76
号: 10
開始ページ: 5809
終了ページ: 5812
著作権等: Copyright 1994 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.
URI: http://hdl.handle.net/2433/43535
DOI(出版社版): 10.1063/1.358480
関連リンク: http://link.aip.org/link/?jap/76/5809
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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