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タイトル: Silver negative-ion implantation into thermally grown thin SiO2 film on Si substrate and heat treatment for formation of silver nanoparticles
著者: Arai, Nobutoshi
Tsuji, Hiroshi  KAKEN_id
Adachi, Kouichirou
Kotaki, Hiroshi
Gotoh, Yasuhito  kyouindb  KAKEN_id
Ishikawa, Junzo
キーワード: silver nanoparticle
negative ion implantation
thermal diffusion
surface plasmon resonance
high-resolution Rutherford backscattering spectrometry
発行日: 2007
出版者: INST PURE APPLIED PHYSICS
誌名: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
巻: 46
号: 9B
開始ページ: 6260
終了ページ: 6266
URI: http://hdl.handle.net/2433/67195
DOI(出版社版): 10.1143/JJAP.46.6260
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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