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タイトル: | Silver negative-ion implantation into thermally grown thin SiO2 film on Si substrate and heat treatment for formation of silver nanoparticles |
著者: | Arai, Nobutoshi Tsuji, Hiroshi ![]() Adachi, Kouichirou Kotaki, Hiroshi Gotoh, Yasuhito ![]() ![]() Ishikawa, Junzo |
キーワード: | silver nanoparticle negative ion implantation thermal diffusion surface plasmon resonance high-resolution Rutherford backscattering spectrometry |
発行日: | 2007 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS |
巻: | 46 |
号: | 9B |
開始ページ: | 6260 |
終了ページ: | 6266 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/67195 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.46.6260 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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