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| タイトル: | Germanium nanoparticle formation in thin oxide films on Si by negative-ion implantation |
| 著者: | Tsuji, Hiroshi  Arai, Nobutoshi Gotoh, Naoyuki Minotani, Takashi Ishibashi, Toyotsugu Okumine, Tetsuya Adachi, Kouichiro Kotaki, Hiroshi Gotoh, Yasuhito  Ishikawa, Junzo |
| キーワード: | ion implantation nanoparticle Germanium negative ion |
| 発行日: | 2007 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY |
| 巻: | 201 |
| 号: | 19-20 |
| 開始ページ: | 8516 |
| 終了ページ: | 8520 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/67199 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.surfcoat.2006.02.063 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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