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書誌情報
ファイル
ナノ高次構造制御による高機能マイクロマテリアルとμTASシステムの創生
小寺, 秀俊 (2003-03-04)
絞り込み
著者
1
小寺, 秀俊
キーワード
1
Material distribution
1
Mechanical properties
1
MEMS
1
Micro-mixer
1
Micro-pump
1
micro-TAS
1
tensile test
1
Thin film material properties
1
マイクロTAS
1
マイクロポンプ
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発行日
1
2003
資料種別
1
Research Paper