ダウンロード数: 0
このアイテムのファイル:
このアイテムに関連するファイルはありません。
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Shirafuji, T | en |
| dc.contributor.author | Wada, T | en |
| dc.contributor.author | Kashiwagi, M | en |
| dc.contributor.author | Nakamura, T | en |
| dc.contributor.author | Tachibana, K | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T04:14:52Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T04:14:52Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.issn | 0021-4922 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/7301 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | INST PURE APPLIED PHYSICS | en |
| dc.subject | C5F8 | en |
| dc.subject | plasma | en |
| dc.subject | chemical vapor deposition | en |
| dc.subject | organic electroluminescence | en |
| dc.subject | passivation | en |
| dc.subject | diagnostics | en |
| dc.title | Plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated amorphous carbon films on the surface with reverse tapered microstructures | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | en |
| dc.identifier.volume | 42 | - |
| dc.identifier.issue | 7A | - |
| dc.identifier.spage | 4504 | - |
| dc.identifier.epage | 4509 | - |
| dc.relation.doi | 10.1143/JJAP.42.4504 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。