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| タイトル: | Characterization of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films deposited on stainless steel substrates by RF-magnetron sputtering for MEMS applications |
| 著者: | Suzuki, T Kanno, I Loverich, JJ Kotera, H  Wasa, K |
| キーワード: | piezoelectric effect thin film PZT stainless steel substrate RF-magnetron sputtering MEMS |
| 発行日: | 2006 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL |
| 巻: | 125 |
| 号: | 2 |
| 開始ページ: | 382 |
| 終了ページ: | 386 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7468 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.sna.2005.08.010 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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