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| タイトル: | 高機能酸化物薄膜形成方法の研究 |
| 著者: | 松尾, 二郎  |
| 著者名の別形: | Matsuo, Jiro |
| キーワード: | 多体衝突 薄膜 酸化 シミュレーション イオン 酸化物 クラスター 機能性薄膜 oxidation oxide 酸化物薄膜 多体衝突効果 薄膜形成 cluster many-body collision 酸素クラスター 高密度照射効果 simulation 酸化膜 thin film ion |
| 発行日: | Mar-2002 |
| 出版者: | 京都大学 |
| 記述: | 平成12-13度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書 課題番号：12650697 研究代表者：松尾二郎 (京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設) |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/84926 |
| 関連リンク: | http://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-12650697/ |
| 出現コレクション: | 090 工学研究科・工学部 |
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