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| タイトル: | The effect of plasma density on the deposition and ion implantation to the materials with three-dimensional topologies in metal d.c. plasma-based ion implantation |
| 著者: | Yukimura, K Sano, M Teramoto, T Maruyama, T |
| キーワード: | PB TiN ion implantation deposition sphere trench |
| 発行日: | 2000 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY |
| 巻: | 131 |
| 号: | 1-3 |
| 開始ページ: | 98 |
| 終了ページ: | 101 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8630 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/S0257-8972(00)00787-8 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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