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完全メタデータレコード
DCフィールド | 値 | 言語 |
---|---|---|
dc.contributor.author | Schoner, A | en |
dc.contributor.author | Fujihira, K | en |
dc.contributor.author | Kimoto, T | en |
dc.contributor.author | Matsunami, H | en |
dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:17:31Z | - |
dc.date.available | 2007-03-28T03:17:31Z | - |
dc.date.issued | 2002 | - |
dc.identifier.issn | 0255-5476 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/8872 | - |
dc.language.iso | eng | - |
dc.publisher | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD | en |
dc.subject | chimney CVD-reactor | en |
dc.subject | deep impurities | en |
dc.subject | epitaxial layers | en |
dc.subject | hot-wall CVD-reactor | en |
dc.subject | HT-DLTS | en |
dc.subject | Z(1)-center | en |
dc.title | High temperature deep level transient spectroscopy investigations of n-type 4H-SiC epitaxial layers | en |
dc.type | journal article | - |
dc.type.niitype | Journal Article | - |
dc.identifier.jtitle | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS - 2002 | en |
dc.identifier.volume | 433-4 | - |
dc.identifier.spage | 387 | - |
dc.identifier.epage | 390 | - |
dc.textversion | none | - |
dcterms.accessRights | metadata only access | - |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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