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タイトル: Molecular dynamics study of the angular dependence of reactive cluster impacts
著者: Aoki, Takaaki
Matsuo, Jiro  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed)
キーワード: Gas cluster ion beam
Molecular dynamics
Sputtering
Fluorine
Silicon
発行日: Dec-2005
出版者: ELSEVIER SCIENCE BV
引用: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.241 No.1-4 page.594-598
誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
巻: 241
号: 1-4
開始ページ: 594
終了ページ: 598
記述: The Application of Accelerators in Research and Industry — Proceedings of the Eighteenth International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI 2004)
著作権等: この論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。
This is not the published version. Please cite only the published version.
URI: http://hdl.handle.net/2433/8931
DOI(出版社版): 10.1016/j.nimb.2005.07.108
関連リンク: http://dx.doi.org/doi:10.1016/j.nimb.2005.07.108
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