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ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
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NIMB-v241-p594.pdf | 235.02 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
タイトル: | Molecular dynamics study of the angular dependence of reactive cluster impacts |
著者: | Aoki, Takaaki Matsuo, Jiro ![]() ![]() |
キーワード: | Gas cluster ion beam Molecular dynamics Sputtering Fluorine Silicon |
発行日: | Dec-2005 |
出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
引用: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.241 No.1-4 page.594-598 |
誌名: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
巻: | 241 |
号: | 1-4 |
開始ページ: | 594 |
終了ページ: | 598 |
記述: | The Application of Accelerators in Research and Industry — Proceedings of the Eighteenth International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI 2004) |
著作権等: | この論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。 This is not the published version. Please cite only the published version. |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/8931 |
DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2005.07.108 |
関連リンク: | http://dx.doi.org/doi:10.1016/j.nimb.2005.07.108 |
出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |

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