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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| NIMB-v206-p855.pdf | 279.8 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Defect characteristics by boron cluster ion implantation |
| 著者: | Aoki, Takaaki Matsuo, Jiro   https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed)Takaoka, Gikan Toyoda, Noriaki Yamada, Isao |
| 発行日: | May-2003 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 引用: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.206 page.855-860 |
| 誌名: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| 巻: | 206 |
| 開始ページ: | 855 |
| 終了ページ: | 860 |
| 記述: | 13th International Conference on Ion Beam Modification of Materials |
| 著作権等: | この論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。 This is not the published version. Please cite only the published version. |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8943 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/S0168-583X(03)00878-4 |
| 関連リンク: | http://dx.doi.org/doi:10.1016/S0168-583X(03)00878-4 |
| 出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |
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