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NIMB-v180-p312.pdf | 639.72 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
タイトル: | Molecular dynamics and Monte-Carlo simulation of sputtering and mixing by ion irradiation |
著者: | Aoki, T Chiba, S Matsuo, J ![]() ![]() Yamada, I Biersack, JP |
キーワード: | Molecular dynamics simulation Monte-Carlo simulation SIMS resolution Ion mixing Sputtering |
発行日: | Jun-2001 |
出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
引用: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS Vol.180 page.312-316 |
誌名: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
巻: | 180 |
号: | 1-4 |
開始ページ: | 312 |
終了ページ: | 316 |
著作権等: | この論文は出版社版でありません。引用の際には出版社版をご確認ご利用ください。 This is not the published version. Please cite only the published version. |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/8947 |
DOI(出版社版): | 10.1016/S0168-583X(01)00437-2 |
関連リンク: | http://dx.doi.org/doi:10.1016/S0168-583X(01)00437-2 |
出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |

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