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書誌情報ファイル
Thermal decomposition mechanism of a titanium source, Ti-(MPD)-(METHD)(2), in MOCVD
  Nakamura, T; Nishimura, T; Tachibana, K (2004)
  JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 151(12): C806-C810
In situ infrared spectroscopic study on a titanium source in MOCVD
  Nakamura, T; Nishimura, T; Momose, S; Tachibana, K (2004)
  JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 151(10): C605-C609

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