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書誌情報 | ファイル |
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Fast epitaxial growth of 4H-SiC by chimney-type hot-wall CVD Fujihira, K; Kimoto, T; Matsunami, H (2002) SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS, 389-3: 175-178 |
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発行日
- 1 2002