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書誌情報 | ファイル |
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Plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated amorphous carbon films on the surface with reverse tapered microstructures Shirafuji, T; Wada, T; Kashiwagi, M; Nakamura, T; Tachibana, K (2003) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 42(7A): 4504-4509 |
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