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書誌情報ファイル
High-energy (MeV) Al and B ion implantations into 4H-SiC and fabrication of pin diodes
  Kimoto, T; Miyamoto, N; Schoner, A; Saitoh, A; Matsunami, H; Asano, K; Sugawara, Y (2002)
  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 91(7): 4242-4248

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