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書誌情報ファイル
Scanning capacitance and spreading resistance microscopy of SiC multiple-pn-junction structure
  Suda, J; Nakamura, S; Miura, M; Kimoto, T; Matsunami, H (2002)
  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS, 41(1AB): L40-L42
Scanning capacitance microscopy of SiC multiple PN junction structure grown by cold-wall chemical vapor deposition
  Suda, J; Nakamura, S; Miura, M; Kimoto, T; Matsunami, H (2002)
  SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS, 389-3: 659-662

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