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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Defect formation in (0001)- and (1120)-oriented 4H-SiC crystals P+-Implanted at room temperature Okada, T; Negoro, Y; Kimoto, T; Okamoto, K; Kujime, N; Tanaka, N; Matsunami, H (2004) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 43(10): 6884-6889 |