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書誌情報ファイル
Recent progress in SiC epitaxial growth and device processing technology
  Kimoto, T; Yano, H; Tamura, S; Miyamoto, N; Fujihira, K; Negoro, Y; Matsunami, H (2000)
  SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS, ECSCRM2000, 353-3: 543-548