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| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Effects of C/Si ratio in chemical vapor deposition of 4H-SiC(11(2)over-bar0) and (03(3)over-bar8) Kimoto, T; Hashimoto, K; Matsunami, H (2003) JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 42(12): 7294-7295 |