検索
検索条件の追加:
検索条件を追加することで検索結果を絞り込むことができます。
検索結果表示: 1-2 / 2.
- 前
- 1
- 次
検索結果:
| 書誌情報 | ファイル |
|---|---|
| Effect of capacitive coupling in a miniature inductively coupled plasma source Takao, Yoshinori; Eriguchi, Koji; Ono, Kouichi (2012-11) Journal of Applied Physics, 112(9) |  |
| PIC-MCC Simulations of Capacitive RF Discharges for Plasma Etching Takao, Yoshinori; Matsuoka, Kenji; Eriguchi, Koji; Ono, Kouichi (2011-05-20) , 1333: 1051-1056 | |