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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogr03737.pdf | Abstract_要旨 | 230.34 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| D_Miyazaki_Takashi.pdf | Dissertation_全文 | 10.46 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 松波, 弘之 | - |
| dc.contributor.advisor | 鈴木, 実 | - |
| dc.contributor.advisor | 藤田, 靜雄 | - |
| dc.contributor.author | 長田, 芳裕 | ja |
| dc.contributor.alternative | Osada, Yoshihiro | en |
| dc.contributor.transcription | オサダ, ヨシヒロ | ja |
| dc.date.accessioned | 2011-11-07T08:23:38Z | - |
| dc.date.available | 2011-11-07T08:23:38Z | - |
| dc.date.issued | 2003-03-24 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/148909 | - |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | jpn | - |
| dc.publisher | 京都大学 (Kyoto University) | ja |
| dc.publisher.alternative | Kyoto University | en |
| dc.subject.ndc | 500 | - |
| dc.title | LSI製造における薄膜プロセス起因の欠陥発生メカニズムとその抑制に関する研究 | ja |
| dc.title.transcription | LSI セイゾウ ニ オケル ハクマク プロセス キイン ノ ケッカン ハッセイ メカニズム ト ソノ ヨクセイ ニ カンスル ケンキュウ | ja-Kana |
| dc.type | doctoral thesis | - |
| dc.type.niitype | Thesis or Dissertation | - |
| dc.textversion | author | - |
| dc.identifier.ndlid | 000004199636 | - |
| dc.description.degreegrantor | 京都大学 | ja |
| dc.description.degreeuniversitycode | 0048 | - |
| dc.description.degreelevel | 新制・論文博士 | - |
| dc.description.degreediscipline | 博士(工学) | ja |
| dc.description.degreereportnumber | 乙第11216号 | - |
| dc.description.degreenumber | 論工博第3737号 | - |
| dc.description.degreekucallnumber | 新制||工||1285(附属図書館) | - |
| dc.description.degreendlcallnumber | UT51-2003-H878 | - |
| dc.date.granted | 2003-03-24 | - |
| dc.description.degreeexamcommittee | (主査)教授 松波 弘之, 教授 鈴木 実, 教授 藤田 靜雄 | - |
| dc.description.degreeprovision | 学位規則第4条第2項該当 | - |
| dc.identifier.selfDOI | 10.14989/doctor.r11216 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| dc.description.degreediscipline-en | Doctor of Engineering | en |
| dc.identifier.degreegrantorID | 14301 | - |
| dc.description.degreegrantor-en | Kyoto University | en |
| dc.description.degreeObjectType | DFAM | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Name | 松波, 弘之 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 鈴木, 実 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 藤田, 靜雄 | ja |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) | |
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